Electrical characterization of high-pressure reactive sputtered ScO x films on silicon
- Castán, H.
- Dueñas, S.
- Gómez, A.
- García, H.
- Bailón, L.
- Feijoo, P.C.
- Toledano-Luque, M.
- Del Prado, A.
- San Andrés, E.
- Lucía, M.L.
ISSN: 0040-6090
Argitalpen urtea: 2011
Alea: 519
Zenbakia: 7
Orrialdeak: 2268-2272
Mota: Artikulua