Influence of H on the composition and atomic concentrations of "N-rich" plasma deposited SiOxNyHz films
- Del Prado, A.
- Andrés, E.S.
- Mártil, I.
- González-Díaz, G.
- Bohne, W.
- Röhrich, J.
- Selle, B.
ISSN: 0021-8979
Any de publicació: 2004
Volum: 95
Número: 10
Pàgines: 5373-5382
Tipus: Article