Thermally induced modifications on bonding configuration and density of defects of plasma deposited SiO x:H films
- San Andrés, E.
- Del Prado, A.
- Mártil, I.
- González-Díaz, G.
- Bravo, D.
- López, F.J.
ISSN: 0021-8979
Any de publicació: 2002
Volum: 92
Número: 4
Pàgines: 1906-1913
Tipus: Article