Thermally induced modifications on bonding configuration and density of defects of plasma deposited SiO x:H films

  1. San Andrés, E.
  2. Del Prado, A.
  3. Mártil, I.
  4. González-Díaz, G.
  5. Bravo, D.
  6. López, F.J.
Zeitschrift:
Journal of Applied Physics

ISSN: 0021-8979

Datum der Publikation: 2002

Ausgabe: 92

Nummer: 4

Seiten: 1906-1913

Art: Artikel

DOI: 10.1063/1.1495068 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus