High quality Ti-implanted Si layers above solid solubility limit

  1. Olea, J.
  2. Pastor, D.
  3. Toledano-Luque, M.
  4. San-Andrés, E.
  5. Mártil, I.
  6. González-Díaz, G.
Actas:
Proceedings of the 2009 Spanish Conference on Electron Devices, CDE'09

ISBN: 9781424428397

Año de publicación: 2009

Páginas: 38-41

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1109/SCED.2009.4800424 GOOGLE SCHOLAR
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