Crystal damage assessment of Be+-implanted GaN by UV Raman scattering

  1. Pastor, D.
  2. Ibá̃ez, J.
  3. Cuscó, R.
  4. Artús, L.
  5. Gonzílez-Díaz, G.
  6. Calleja, E.
Revista:
Semiconductor Science and Technology

ISSN: 0268-1242,  1361-6641

Any de publicació: 2007

Volum: 22

Número: 2

Pàgines: 70-73

Tipus: Article

DOI: 10.1088/0268-1242/22/2/012 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus