Crystal damage assessment of Be+-implanted GaN by UV Raman scattering

  1. Pastor, D.
  2. Ibá̃ez, J.
  3. Cuscó, R.
  4. Artús, L.
  5. Gonzílez-Díaz, G.
  6. Calleja, E.
Zeitschrift:
Semiconductor Science and Technology

ISSN: 0268-1242,  1361-6641

Datum der Publikation: 2007

Ausgabe: 22

Nummer: 2

Seiten: 70-73

Art: Artikel

DOI: 10.1088/0268-1242/22/2/012 GOOGLE SCHOLAR
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