Emission line intensities in an r.f. sputtering glow discharge system
ISSN: 0040-6090
Any de publicació: 1993
Volum: 228
Número: 1-2
Pàgines: 133-136
Tipus: Article
ISSN: 0040-6090
Any de publicació: 1993
Volum: 228
Número: 1-2
Pàgines: 133-136
Tipus: Article