Emission line intensities in an r.f. sputtering glow discharge system
ISSN: 0040-6090
Datum der Publikation: 1993
Ausgabe: 228
Nummer: 1-2
Seiten: 133-136
Art: Artikel
ISSN: 0040-6090
Datum der Publikation: 1993
Ausgabe: 228
Nummer: 1-2
Seiten: 133-136
Art: Artikel