Emission line intensities in an r.f. sputtering glow discharge system
ISSN: 0040-6090
Année de publication: 1993
Volumen: 228
Número: 1-2
Pages: 133-136
Type: Article
ISSN: 0040-6090
Année de publication: 1993
Volumen: 228
Número: 1-2
Pages: 133-136
Type: Article