Sputtering of SiO2 in O2Ar atmospheres
- Santamaría, J.
- Iborra, E.
- Sánchez Quesada, F.
- González Díaz, G.
- Rodríguez Vidal, M.
ISSN: 0040-6090
Any de publicació: 1986
Volum: 139
Número: 2
Pàgines: 201-208
Tipus: Article
ISSN: 0040-6090
Any de publicació: 1986
Volum: 139
Número: 2
Pàgines: 201-208
Tipus: Article