Sputtering of SiO2 in O2Ar atmospheres

  1. Santamaría, J.
  2. Iborra, E.
  3. Sánchez Quesada, F.
  4. González Díaz, G.
  5. Rodríguez Vidal, M.
Zeitschrift:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Datum der Publikation: 1986

Ausgabe: 139

Nummer: 2

Seiten: 201-208

Art: Artikel

DOI: 10.1016/0040-6090(86)90338-X GOOGLE SCHOLAR
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