Sputtering of SiO2 in O2Ar atmospheres
- Santamaría, J.
- Iborra, E.
- Sánchez Quesada, F.
- González Díaz, G.
- Rodríguez Vidal, M.
ISSN: 0040-6090
Argitalpen urtea: 1986
Alea: 139
Zenbakia: 2
Orrialdeak: 201-208
Mota: Artikulua
ISSN: 0040-6090
Argitalpen urtea: 1986
Alea: 139
Zenbakia: 2
Orrialdeak: 201-208
Mota: Artikulua