Sputtering of SiO2 in O2Ar atmospheres

  1. Santamaría, J.
  2. Iborra, E.
  3. Sánchez Quesada, F.
  4. González Díaz, G.
  5. Rodríguez Vidal, M.
Aldizkaria:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Argitalpen urtea: 1986

Alea: 139

Zenbakia: 2

Orrialdeak: 201-208

Mota: Artikulua

DOI: 10.1016/0040-6090(86)90338-X GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus