Defocus grating systems for optical alignment

  1. Chang, M.
  2. Sánchez, D.
  3. Montes, D.
  4. Vidarte, Z.
Actes:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

ISSN: 0277-786X

Any de publicació: 2004

Volum: 5491

Número: PART 2

Pàgines: 1043-1049

Tipus: Aportació congrés

DOI: 10.1117/12.552023 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus