Defocus grating systems for optical alignment

  1. Chang, M.
  2. Sánchez, D.
  3. Montes, D.
  4. Vidarte, Z.
Actas:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

ISSN: 0277-786X

Ano de publicación: 2004

Volume: 5491

Número: PART 2

Páxinas: 1043-1049

Tipo: Achega congreso

DOI: 10.1117/12.552023 GOOGLE SCHOLAR