Defocus grating systems for optical alignment

  1. Chang, M.
  2. Sánchez, D.
  3. Montes, D.
  4. Vidarte, Z.
Actes de conférence:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

ISSN: 0277-786X

Année de publication: 2004

Volumen: 5491

Número: PART 2

Pages: 1043-1049

Type: Communication dans un congrès

DOI: 10.1117/12.552023 GOOGLE SCHOLAR
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