Interaction of deuterium with SIMOX buried oxide
- Rivera, A.
- Van Veen, A.
- Schut, H.
- De Nijs, J.M.M.
- Balk, P.
ISSN: 0167-9317
Any de publicació: 2001
Volum: 59
Número: 1-4
Pàgines: 497-501
Tipus: Aportació congrés
Revista:
Microelectronic Engineering