Interaction of deuterium with SIMOX buried oxide

  1. Rivera, A.
  2. Van Veen, A.
  3. Schut, H.
  4. De Nijs, J.M.M.
  5. Balk, P.
Aldizkaria:
Microelectronic Engineering

ISSN: 0167-9317

Argitalpen urtea: 2001

Alea: 59

Zenbakia: 1-4

Orrialdeak: 497-501

Mota: Biltzar ekarpena

DOI: 10.1016/S0167-9317(01)00664-5 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus