Interaction of deuterium with SIMOX buried oxide

  1. Rivera, A.
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Revue:
Microelectronic Engineering

ISSN: 0167-9317

Année de publication: 2001

Volumen: 59

Número: 1-4

Pages: 497-501

Type: Communication dans un congrès

DOI: 10.1016/S0167-9317(01)00664-5 GOOGLE SCHOLAR
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