Interaction of deuterium with SIMOX buried oxide

  1. Rivera, A.
  2. Van Veen, A.
  3. Schut, H.
  4. De Nijs, J.M.M.
  5. Balk, P.
Zeitschrift:
Microelectronic Engineering

ISSN: 0167-9317

Datum der Publikation: 2001

Ausgabe: 59

Nummer: 1-4

Seiten: 497-501

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1016/S0167-9317(01)00664-5 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus