The behaviour of deuterium incorporated into the buried oxide of SIMOX

  1. Rivera, A.
  2. Van Veen, A.
  3. Schut, H.
  4. De Nijs, J.M.M.
  5. Balk, P.
  6. Alkemade, P.F.A.
Revista:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

ISSN: 0168-583X

Any de publicació: 2001

Volum: 178

Número: 1-4

Pàgines: 287-290

Tipus: Aportació congrés

DOI: 10.1016/S0168-583X(00)00484-5 GOOGLE SCHOLAR

Objetivos de desarrollo sostenible

Font de les dades: Scopus