The behaviour of deuterium incorporated into the buried oxide of SIMOX

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Zeitschrift:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

ISSN: 0168-583X

Datum der Publikation: 2001

Ausgabe: 178

Nummer: 1-4

Seiten: 287-290

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1016/S0168-583X(00)00484-5 GOOGLE SCHOLAR

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