Removal of vacancy type clusters by low energy ion generated self-interstitials in crystalline silicon
- Fedorov, A.V.
- Van Veen, A.
- Schut, H.
- Rivera, A.
ISSN: 0168-583X
Datum der Publikation: 1999
Ausgabe: 148
Nummer: 1-4
Seiten: 289-293
Art: Artikel