Removal of vacancy type clusters by low energy ion generated self-interstitials in crystalline silicon
- Fedorov, A.V.
- Van Veen, A.
- Schut, H.
- Rivera, A.
ISSN: 0168-583X
Ano de publicación: 1999
Volume: 148
Número: 1-4
Páxinas: 289-293
Tipo: Artigo