Accuracy of the thin metallic wires diameter using Fraunhofer diffraction technique

  1. Serroukh, I.
  2. Martínez-Antón, J.C.
  3. Bernabeu, E.
Zeitschrift:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

ISSN: 0277-786X

Datum der Publikation: 2000

Ausgabe: 4099

Nummer: 1

Seiten: 255-266

Art: Artikel

DOI: 10.1117/12.405827 GOOGLE SCHOLAR