Line width dependent mobility in high-k - a comparative performance study between FUSI and TiN

  1. Pantisano, L.
  2. Trojman, L.
  3. Severi, S.
  4. San Andres, E.
  5. Kerner, C.
  6. Veloso, A.
  7. Ferain, I.
  8. Hoffman, T.
  9. Groeseneken, G.
  10. De Gendt, S.
Libro:
2007 INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON VLSI TECHNOLOGY, SYSTEMS AND APPLICATIONS (VLSI-TSA), PROCEEDINGS OF TECHNICAL PAPERS

ISBN: 978-1-4244-0584-8

Año de publicación: 2007

Páginas: 38-39

Congreso: International Symposium on VLSI Technology, Systems and Applications

Tipo: Aportación congreso

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Fuente de los datos: WoS