Evolución de perfiles de implantaciónmecanismos de distorsión

  1. PEON FERNANDEZ, JAIME
Dirigida per:
  1. José Juan Jiménez Rodríguez Director

Universitat de defensa: Universidad Complutense de Madrid

Any de defensa: 1982

Tribunal:
  1. Carlos Sánchez del Río President/a
  2. Albert Gras Martí Secretari/ària
  3. Elías Muñoz Merino Vocal
  4. Maximino Rodríguez Vidal Vocal
  5. José Campos Gutiérrez Vocal
Departament:
  1. Estructura de la Materia, Física Térmica y Electrónica

Tipus: Tesi

Teseo: 6768 DIALNET

Resum

Se presenta un nuevo modelo teórico para la predicción de la evolución de perfiles de implantación por bombardeo incluyendo los efectos de difusión mezclado atómico y sputtering como factores de distorsión sobre la predicción más elemental en base a la teoría lss de alcance de proyectiles en sólidos.