Evolución de perfiles de implantaciónmecanismos de distorsión
- PEON FERNANDEZ, JAIME
- José Juan Jiménez Rodríguez Director
Universidade de defensa: Universidad Complutense de Madrid
Ano de defensa: 1982
- Carlos Sánchez del Río Presidente/a
- Albert Gras Martí Secretario/a
- Elías Muñoz Merino Vogal
- Maximino Rodríguez Vidal Vogal
- José Campos Gutiérrez Vogal
Tipo: Tese
Resumo
Se presenta un nuevo modelo teórico para la predicción de la evolución de perfiles de implantación por bombardeo incluyendo los efectos de difusión mezclado atómico y sputtering como factores de distorsión sobre la predicción más elemental en base a la teoría lss de alcance de proyectiles en sólidos.