Evolución de perfiles de implantaciónmecanismos de distorsión

  1. PEON FERNANDEZ, JAIME
Dirixida por:
  1. José Juan Jiménez Rodríguez Director

Universidade de defensa: Universidad Complutense de Madrid

Ano de defensa: 1982

Tribunal:
  1. Carlos Sánchez del Río Presidente/a
  2. Albert Gras Martí Secretario/a
  3. Elías Muñoz Merino Vogal
  4. Maximino Rodríguez Vidal Vogal
  5. José Campos Gutiérrez Vogal
Departamento:
  1. Estructura de la Materia, Física Térmica y Electrónica

Tipo: Tese

Teseo: 6768 DIALNET

Resumo

Se presenta un nuevo modelo teórico para la predicción de la evolución de perfiles de implantación por bombardeo incluyendo los efectos de difusión mezclado atómico y sputtering como factores de distorsión sobre la predicción más elemental en base a la teoría lss de alcance de proyectiles en sólidos.