Evolución de perfiles de implantaciónmecanismos de distorsión

  1. PEON FERNANDEZ, JAIME
Dirigée par:
  1. José Juan Jiménez Rodríguez Directeur

Université de défendre: Universidad Complutense de Madrid

Année de défendre: 1982

Jury:
  1. Carlos Sánchez del Río President
  2. Albert Gras Martí Secrétaire
  3. Elías Muñoz Merino Rapporteur
  4. Maximino Rodríguez Vidal Rapporteur
  5. José Campos Gutiérrez Rapporteur
Département:
  1. Estructura de la Materia, Física Térmica y Electrónica

Type: Thèses

Teseo: 6768 DIALNET

Résumé

Se presenta un nuevo modelo teórico para la predicción de la evolución de perfiles de implantación por bombardeo incluyendo los efectos de difusión mezclado atómico y sputtering como factores de distorsión sobre la predicción más elemental en base a la teoría lss de alcance de proyectiles en sólidos.