Evolución de perfiles de implantaciónmecanismos de distorsión
- PEON FERNANDEZ, JAIME
- José Juan Jiménez Rodríguez Director
Defence university: Universidad Complutense de Madrid
Year of defence: 1982
- Carlos Sánchez del Río Chair
- Albert Gras Martí Secretary
- Elías Muñoz Merino Committee member
- Maximino Rodríguez Vidal Committee member
- José Campos Gutiérrez Committee member
Type: Thesis
Abstract
Se presenta un nuevo modelo teórico para la predicción de la evolución de perfiles de implantación por bombardeo incluyendo los efectos de difusión mezclado atómico y sputtering como factores de distorsión sobre la predicción más elemental en base a la teoría lss de alcance de proyectiles en sólidos.