Evolución de perfiles de implantaciónmecanismos de distorsión

  1. PEON FERNANDEZ, JAIME
Supervised by:
  1. José Juan Jiménez Rodríguez Director

Defence university: Universidad Complutense de Madrid

Year of defence: 1982

Committee:
  1. Carlos Sánchez del Río Chair
  2. Albert Gras Martí Secretary
  3. Elías Muñoz Merino Committee member
  4. Maximino Rodríguez Vidal Committee member
  5. José Campos Gutiérrez Committee member
Department:
  1. Estructura de la Materia, Física Térmica y Electrónica

Type: Thesis

Teseo: 6768 DIALNET

Abstract

Se presenta un nuevo modelo teórico para la predicción de la evolución de perfiles de implantación por bombardeo incluyendo los efectos de difusión mezclado atómico y sputtering como factores de distorsión sobre la predicción más elemental en base a la teoría lss de alcance de proyectiles en sólidos.