Evolución de perfiles de implantaciónmecanismos de distorsión

  1. PEON FERNANDEZ, JAIME
unter der Leitung von:
  1. José Juan Jiménez Rodríguez Doktorvater

Universität der Verteidigung: Universidad Complutense de Madrid

Jahr der Verteidigung: 1982

Gericht:
  1. Carlos Sánchez del Río Präsident/in
  2. Albert Gras Martí Sekretär/in
  3. Elías Muñoz Merino Vocal
  4. Maximino Rodríguez Vidal Vocal
  5. José Campos Gutiérrez Vocal
Fachbereiche:
  1. Estructura de la Materia, Física Térmica y Electrónica

Art: Dissertation

Teseo: 6768 DIALNET

Zusammenfassung

Se presenta un nuevo modelo teórico para la predicción de la evolución de perfiles de implantación por bombardeo incluyendo los efectos de difusión mezclado atómico y sputtering como factores de distorsión sobre la predicción más elemental en base a la teoría lss de alcance de proyectiles en sólidos.