Electrical characterization of high-pressure reactive sputtered ScO x films on silicon

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Revista:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Año de publicación: 2011

Volumen: 519

Número: 7

Páginas: 2268-2272

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.TSF.2010.10.073 GOOGLE SCHOLAR
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