Compositional analysis of thin SiO xN y:H films by heavy-ion ERDA, standard RBS, EDX and AES: A comparison

  1. Bohne, W.
  2. Röhrich, J.
  3. Schöpke, A.
  4. Selle, B.
  5. Sieber, I.
  6. Fuhs, W.
  7. Del Prado, Á.
  8. San Andrés, E.
  9. Mártil, I.
  10. González-Díaz, G.
Zeitschrift:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

ISSN: 0168-583X

Datum der Publikation: 2004

Ausgabe: 217

Nummer: 2

Seiten: 237-245

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.NIMB.2003.11.003 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus