Buried silicon dioxide formation in a precursor nanocavity layer in Si
- Van Veen, A.
- Rivera, A.
- Schut, H.
- Van Gog, H.
ISSN: 0168-583X
Any de publicació: 2004
Volum: 216
Número: 1-4
Pàgines: 264-268
Tipus: Aportació congrés
ISSN: 0168-583X
Any de publicació: 2004
Volum: 216
Número: 1-4
Pàgines: 264-268
Tipus: Aportació congrés