Buried silicon dioxide formation in a precursor nanocavity layer in Si
- Van Veen, A.
- Rivera, A.
- Schut, H.
- Van Gog, H.
ISSN: 0168-583X
Datum der Publikation: 2004
Ausgabe: 216
Nummer: 1-4
Seiten: 264-268
Art: Konferenz-Beitrag
ISSN: 0168-583X
Datum der Publikation: 2004
Ausgabe: 216
Nummer: 1-4
Seiten: 264-268
Art: Konferenz-Beitrag