Interaction of deuterium with SIMOX buried oxide
- Rivera, A.
- Van Veen, A.
- Schut, H.
- De Nijs, J.M.M.
- Balk, P.
ISSN: 0167-9317
Año de publicación: 2001
Volumen: 59
Número: 1-4
Páginas: 497-501
Tipo: Aportación congreso
Revista:
Microelectronic Engineering