Removal of vacancy type clusters by low energy ion generated self-interstitials in crystalline silicon

  1. Fedorov, A.V.
  2. Van Veen, A.
  3. Schut, H.
  4. Rivera, A.
Revista:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

ISSN: 0168-583X

Año de publicación: 1999

Volumen: 148

Número: 1-4

Páginas: 289-293

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/S0168-583X(98)00852-0 GOOGLE SCHOLAR
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