Low temperature epitaxial oxide ultrathin films and nanostructures by atomic layer deposition

  1. Coll, M.
  2. Gazquez, J.
  3. Palau, A.
  4. Varela, M.
  5. Obradors, X.
  6. Puig, T.
Revista:
Chemistry of Materials

ISSN: 0897-4756,  1520-5002

Any de publicació: 2012

Volum: 24

Número: 19

Pàgines: 3732-3737

Tipus: Article

DOI: 10.1021/CM301864C GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus