Low temperature epitaxial oxide ultrathin films and nanostructures by atomic layer deposition

  1. Coll, M.
  2. Gazquez, J.
  3. Palau, A.
  4. Varela, M.
  5. Obradors, X.
  6. Puig, T.
Revista:
Chemistry of Materials

ISSN: 0897-4756 1520-5002

Ano de publicación: 2012

Volume: 24

Número: 19

Páxinas: 3732-3737

Tipo: Artigo

DOI: 10.1021/CM301864C GOOGLE SCHOLAR