Low temperature epitaxial oxide ultrathin films and nanostructures by atomic layer deposition
- Coll, M.
- Gazquez, J.
- Palau, A.
- Varela, M.
- Obradors, X.
- Puig, T.
ISSN: 0897-4756, 1520-5002
Ano de publicación: 2012
Volume: 24
Número: 19
Páxinas: 3732-3737
Tipo: Artigo