Low temperature epitaxial oxide ultrathin films and nanostructures by atomic layer deposition

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Zeitschrift:
Chemistry of Materials

ISSN: 0897-4756,  1520-5002

Datum der Publikation: 2012

Ausgabe: 24

Nummer: 19

Seiten: 3732-3737

Art: Artikel

DOI: 10.1021/CM301864C GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus