One-step fabrication of large area arrays of dots by electron beam lithography
- Pérez-Junquera, A.
- Martín, J.I.
- Alameda, J.M.
ISSN: 0167-9317
Any de publicació: 2007
Volum: 84
Número: 5-8
Pàgines: 845-847
Tipus: Article
ISSN: 0167-9317
Any de publicació: 2007
Volum: 84
Número: 5-8
Pàgines: 845-847
Tipus: Article