One-step fabrication of large area arrays of dots by electron beam lithography

  1. Pérez-Junquera, A.
  2. Martín, J.I.
  3. Alameda, J.M.
Zeitschrift:
Microelectronic Engineering

ISSN: 0167-9317

Datum der Publikation: 2007

Ausgabe: 84

Nummer: 5-8

Seiten: 845-847

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.MEE.2007.01.129 GOOGLE SCHOLAR
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