One-step fabrication of large area arrays of dots by electron beam lithography
- Pérez-Junquera, A.
- Martín, J.I.
- Alameda, J.M.
ISSN: 0167-9317
Año de publicación: 2007
Volumen: 84
Número: 5-8
Páginas: 845-847
Tipo: Artículo
ISSN: 0167-9317
Año de publicación: 2007
Volumen: 84
Número: 5-8
Páginas: 845-847
Tipo: Artículo