In situ MEMS gradiometer with nanometer-resolution optical detection system

  1. Campanella, H.
  2. del Real, R.P.
  3. Duch, M.
  4. Serre, C.
  5. Lucas, I.
  6. De Manuel, V.
  7. Guerrero, H.
  8. Esteve, J.
  9. Díaz-Michelena, M.
  10. Plaza, J.A.
Revista:
Sensors and Actuators, A: Physical

ISSN: 0924-4247

Any de publicació: 2010

Volum: 159

Número: 1

Pàgines: 33-40

Tipus: Article

DOI: 10.1016/J.SNA.2010.02.007 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus