In situ MEMS gradiometer with nanometer-resolution optical detection system

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Revista:
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ISSN: 0924-4247

Ano de publicación: 2010

Volume: 159

Número: 1

Páxinas: 33-40

Tipo: Artigo

DOI: 10.1016/J.SNA.2010.02.007 GOOGLE SCHOLAR

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