In situ MEMS gradiometer with nanometer-resolution optical detection system

  1. Campanella, H.
  2. del Real, R.P.
  3. Duch, M.
  4. Serre, C.
  5. Lucas, I.
  6. De Manuel, V.
  7. Guerrero, H.
  8. Esteve, J.
  9. Díaz-Michelena, M.
  10. Plaza, J.A.
Aldizkaria:
Sensors and Actuators, A: Physical

ISSN: 0924-4247

Argitalpen urtea: 2010

Alea: 159

Zenbakia: 1

Orrialdeak: 33-40

Mota: Artikulua

DOI: 10.1016/J.SNA.2010.02.007 GOOGLE SCHOLAR

Objetivos de desarrollo sostenible

Datuen iturria: Scopus