In situ MEMS gradiometer with nanometer-resolution optical detection system

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Revue:
Sensors and Actuators, A: Physical

ISSN: 0924-4247

Année de publication: 2010

Volumen: 159

Número: 1

Pages: 33-40

Type: Article

DOI: 10.1016/J.SNA.2010.02.007 GOOGLE SCHOLAR

Objetivos de desarrollo sostenible

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