In situ MEMS gradiometer with nanometer-resolution optical detection system

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Zeitschrift:
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ISSN: 0924-4247

Datum der Publikation: 2010

Ausgabe: 159

Nummer: 1

Seiten: 33-40

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.SNA.2010.02.007 GOOGLE SCHOLAR

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