Deep UV laser induced periodic surface structures on silicon formed by self-organization of nanoparticles

  1. Zazo, R.
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Revista:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Año de publicación: 2020

Volumen: 520

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.APSUSC.2020.146307 GOOGLE SCHOLAR

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