Deep UV laser induced periodic surface structures on silicon formed by self-organization of nanoparticles

  1. Zazo, R.
  2. Solis, J.
  3. Sanchez-Gil, J.A.
  4. Ariza, R.
  5. Serna, R.
  6. Siegel, J.
Revista:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Año de publicación: 2020

Volumen: 520

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.APSUSC.2020.146307 GOOGLE SCHOLAR

Objetivos de desarrollo sostenible