Evolución de perfiles de implantaciónmecanismos de distorsión

  1. PEON FERNANDEZ, JAIME
Dirigida por:
  1. José Juan Jiménez Rodríguez Director

Universidad de defensa: Universidad Complutense de Madrid

Año de defensa: 1982

Tribunal:
  1. Carlos Sánchez del Río Presidente/a
  2. Albert Gras Martí Secretario/a
  3. Elías Muñoz Merino Vocal
  4. Maximino Rodríguez Vidal Vocal
  5. José Campos Gutiérrez Vocal
Departamento:
  1. Estructura de la Materia, Física Térmica y Electrónica

Tipo: Tesis

Teseo: 6768 DIALNET

Resumen

Se presenta un nuevo modelo teórico para la predicción de la evolución de perfiles de implantación por bombardeo incluyendo los efectos de difusión mezclado atómico y sputtering como factores de distorsión sobre la predicción más elemental en base a la teoría lss de alcance de proyectiles en sólidos.